嘉兴轻蜓光电科技有限公司

展位号 A3-T234

嘉兴轻蜓光电科技有限公司成立于2017年，由人工智能计算专家，前硅谷谷歌总部高级工程师和机器视觉业内资深团队创办。聚焦电子半导体3D+AI超高精度智能光学检测装备，集研发、生产、销售为一体，为客户各类复杂外观检测需求提供完整解决方案。

目前公司总部坐落于嘉兴，苏州、杭州和深圳设有研发和销售中心。

轻蜓光电秉承“求真，开放”的企业核心价值观，力争成为世界一流的高端检测设备公司。

地址：苏州市工业园区苏虹西路99号

网址：www.qtingtech.com

产 品 介 绍

Spectra Wafer AOI是轻蜓光电推出的新一代半导体晶圆表面缺陷检测设备，可用于8/12寸中后道晶圆宏观缺陷检测，以及先进封装Bump/TSV/2.5D/3D堆叠检测，集成了轻蜓最新一代AI智能检测算法和针对先进封装深度开发的高精度3D光学成像系统。

特点：

1、AI神经网络加持，仅需少量良品图片训练模型，方便设备部署且检测效果稳定高效。

2、集成轻蜓自研高精度3D光电传感器，可用于先进封装Bump/TSV/2.5D/3D堆叠检测，最低可检测高度5um。

技术指标：

轻蜓的半导体晶圆缺陷检测设备Spectra Wafer AOI具有独立自主知识产权的许多创新功能，主要技术指标如下：

1、该设备支持8/12寸晶圆裸片/环片，微孔陶瓷X/Y/R Wafer载台，双Foup自动上料。

2、2000W像素高分辨率相机，显微镜光学系统，4轮物镜转换器，配备2X，5X，10X，20X显微物镜，最小像素分辨率0.225um

3、自动光学对焦，自动位姿矫正，自动物镜切换

4、100%集成2D和3D的测量和检测系统，最小可测量5um高度的Bump

5、具有反射抑制的专利技术，可以检测高反光物质表面。

Weber是轻蜓推出的一款针对WB引线键合后外观不良的检测设备，不论金丝、铝丝、铜丝等都可以清晰成像，该设备可用于检测焊线缺失、弯曲、焊点变形、双线、多线、芯片缺失、偏移、反向、碎裂、异物、划痕等不良。

特点：

1、轻蜓自研的无限景深Z轴扫描系统，可以实现细至17um金线的完整3D成像。

2、不同材质的引线都可以清晰成像，加上自研的AI检测算法，可以准确检出Wire bond工艺中的不良缺陷，替代人工镜检，提高产品良率。

3、对错线、漏线轻蜓开发了一套独特的检测算法。

4. AI检测系统同时可以准确检出载板上的复杂外观缺陷，实现一机多用。

技术指标： 

1、12M高分辨率工业相机，分辨率1.8μm/2.7μm可选。

2、Z轴行程可达30mm，同一焊线不同高度均可实现清晰状态。

3、AI神经网络极少量样本网络算法与训练系统，客户在使用过程中自动迭代神经网络模型，大大减少缺陷检测系统的落地周期。

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